高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

作     者：胡凯凯 尹加文 麦裕良 栾安博 郜晚蕾 金庆辉 HU Kaikai;YIN Jiawen;MAI Yuliang;LUAN Anbo;GAO Wanlei;JIN Qinghui

作者机构：宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 广东省石油化工研究院技术开发中心广东广州510665 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61871243,61701267) 浙江省自然科学基金资助项目(LGF18F010004) 微系统技术国防重点实验室开放基金资助项目(6142804190105) 宁波大学“海洋生物技术与海洋工程”学科群基金和宁波大学K.C.Wong Magna基金资助项目 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第1期

页      码：74-77页

摘      要：面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

主 题 词：海洋温/盐/酸度 微纳传感器 微机电系统(MEMS)技术 批量制造 高精度网格化测量 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2021)01-0074-04

馆 藏 号：203100045...