一种微纳多齿谐振光栅偏振分束器

作     者：张永棠 ZHANG Yongtang

作者机构：广东东软学院计算机学院广东佛山528225 南昌工程学院江西省协同感知与先进计算技术研究所江西南昌330003 

基　　金：国家自然科学基金项目(61663029) 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2020年第43卷第6期

页      码：1222-1227页

摘      要：微纳光学器件是光路集成、片上光电转换和检测的重要基础器件。基于硅基微纳多齿谐振光栅,设计了一种高性能的微纳多齿谐振光栅偏振分束器(PBS)。应用光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质,从而实现偏振分束的目的。通过严格耦合波理论分析,研究了光栅PBS的性能。结果表明,在1.53~1.62μm(90 nm)的宽带光谱上,该PBS的衍射效率大于97%,消光比(ER)大于16dB,以及角度带宽为8°等的优越性能。此外,还研究了结构参数对光栅PBS性能的影响,数值分析表明,该装置具有良好的工艺容差,可广泛应用于通信系统的路由和交换设备。

主 题 词：衍射光栅 偏振分束器 泄露模谐振 光学器件 光通信 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2020.06.006

馆 藏 号：203100054...