求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法

作     者：李林瑛 卢睿 LI Lin-ying;LU Rui

作者机构：大连外国语大学语言智能研究中心辽宁大连116044 辽宁警察学院公安信息系辽宁大连116036 

基　　金：国家社会科学基金一般项目(15BYY028) 2017年大连外国语大学科研基金(2017XTZD04) 辽宁省自然科学基金(20180550284) 大连外国语大学研究创新团队项目“计算语言学与人工智能创新团队”(2016CXTD06) 

出 版 物：《数学的实践与认识》 (Mathematics in Practice and Theory)

年 卷 期：2020年第50卷第22期

页      码：167-178页

摘      要：针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过定义机械手搬运作业,将双排序问题转换为单排序问题,并将其应有到染色体编码中;设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;给出可行解必须满足的条件,将其应用到差分变异和差分交叉算子设计中,避免冗余迭代和陷入局部最优等现象.与差分进化算法、遗传禁忌混合算法、粒子群算法的仿真实验比较,验证了提出算法的有效性和鲁棒性.

主 题 词：集束型装备 晶圆制造 差分进化算法 混流加工 滞留时间约束 

学科分类：080903[080903] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 0809[工学-计算机类] 081104[081104] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0835[0835] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

馆 藏 号：203100066...