变面积结构微机械电容式加速度传感器

作     者：李宝清 陆德仁 王渭源 Li Baoqing;Lu Deren;Wang Weiyuan

作者机构：中国科学院上海冶金研究所上海200050 

基　　金：国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目!(8537) 

出 版 物：《中国工程科学》 (Strategic Study of CAE)

年 卷 期：2000年第2卷第2期

页      码：36-40页

摘      要：文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化,可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化,而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术,设计量程为20m/s2。测量结果表明,加速度传感器量程为20m/s2,灵敏度为581mV/(m·s-2),非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。

主 题 词：电容 微机械加速度传感器 变面积结构 原理 制作 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-1742.2000.02.007

馆 藏 号：203100198...