硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析

作     者：李宏生 

作者机构：东南大学仪器科学与工程系南京210096 

基　　金：总装预研基金资助项目 (0 0 J9.1.8.JW0 60 3 ) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2002年第24卷第5期

页      码：421-424页

摘      要：基于参数化的计算机辅助设计 (CAD)软件 ,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模 ,以有限元分析软件为工具 ,进行了谐振器的模态分析、静态分析和谐响应分析 ,初步揭示了谐振器的静、动态特性 ,有助于改善设计效率和质量 ,展示了计算机辅助工程 (CAE)技术在微机电系统 (MEMS)研究中的重要作用。

主 题 词：微机械 梳齿静电谐振器 建模 分析 硅 计算机辅助工程 CAE 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2002.05.026

馆 藏 号：203100400...