MEMS微弹簧应用模式分析

作     者：李华 石庚辰 LI Hua;SHI Geng-chen

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 北京理工大学宇航科学技术学院北京100081 

基　　金：国防科技重点实验室基金项目资助(514850301) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2007年第20卷第12期

页      码：2709-2712页

摘      要：根据微弹簧在微机电系统(MEMS)中使用模式的不同,将微弹簧分为三种应用模式进行分析.应用LIGA加工工艺,设计加工了一种"L型"MEMS微弹簧,应用宏观理论的能量法,推导出了"L型"微弹簧在三种应用模式下的弹性系数计算公式,并用有限元仿真计算验证了理论公式推导的正确性.利用Tytron250微小力拉伸实验机对"L型"微弹簧进行了拉伸实验,实验结果与公式计算结果吻合.在此基础上,分析总结了微弹簧在不同应用模式下的弹性系数变化规律.

主 题 词：MEMS 微弹簧 应用模式 弹性系数 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2007.12.035

馆 藏 号：203100774...