非理想矩形锚单元的节点分析法

作     者：李敏 张加宏 刘清惓 刘恒 LI Min;ZHANG Jiahong;LIU Qingquan;LIU Heng

作者机构：江苏省气象探测与信息处理重点实验室南京210044 南京信息工程大学电子与信息工程学院南京210044 

基　　金：国家公益性行业(气象)科研专项项目(GYHY200906037) 国家自然科学基金项目(41075026,61001044) 江苏高校优势学科建设工程项目 东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金项目(2010-02) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2013年第26卷第5期

页      码：647-653页

摘      要：为了在节点化设计方法中考虑非理想锚效应,采用铁木辛柯梁理论和加权余量法建立了非理想矩形锚单元的节点化模型,在Hspice中构建了相应的等效电路。结合已有单元模型,实现了静电执行器的系统级仿真,与有限元模拟结果吻合较好,可模拟出非理想矩形锚对系统静态和动态特性的影响。

主 题 词：非理想矩形锚 节点法 加权余量法 铁木辛柯梁理论 MEMS 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2013.05.011

馆 藏 号：203101185...