低功耗热光可调光衰减器的设计与制备

作     者：代红庆 安俊明 王玥 王红杰 吴远大 钟飞 Dai Hongqing;An Junming;Wang Yue;Wang Hongjie;Wu Yuanda;Zhong Fei

作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室北京100083 河南仕佳光子科技有限公司河南鹤壁458030 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA031402 2011AA010303) 国家自然科学基金资助项目(61274047 61090390 61275029 61205044 61307034) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2014年第39卷第8期

页      码：584-588页

摘      要：可调光衰减器（VOA）是波分复用（WDM）系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号。设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔（Mach-Zehnder）干涉型热光可调光衰减器阵列。首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,模拟了在有外加偏压时的热场分布,然后介绍了器件的设计及制备工艺过程,并对所制备的器件进行测试。实验结果表明,制备器件的插入损耗小于1.1 dB,动态衰减范围为0~30 dB。在衰减量为30 dB时,外加偏压为12.5 V,功耗仅有120 mW。最后分析了测试结果,并提出了改善器件性能的方法。

主 题 词：波分复用(WDM) 马赫增德尔干涉型 可调光衰减器(VOA) 石英衬底 低功耗 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.08.006

馆 藏 号：203101250...