纳机电矢量水听器耐压结构设计

作     者：赵鹏 张国军 刘源 申辉 刘林仙 张文栋 ZHAO Peng;ZHANG Guojun;LIU Yuan;SHEN Hui;LIU Linxian;ZHANG Wendong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 

基　　金：国家863项目(2013AA09A412) 国家自然科学基金项目(61127008/F040703) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2014年第27卷第5期

页      码：610-615页

摘      要：纳机电矢量水听器具有低频性能好,灵敏度高等性能优点,在深海探测领域具有巨大的应用潜力,为满足超深水工作的要求提出了绝缘托盘式新型封装结构,解决了纳机电矢量水听器的耐高静水压技术难题。首先,进行聚氨酯透声帽外围封装承压分析,理论论证聚氨酯基体树脂材料的极限耐静水压强度为42.3 MPa。然后,对MEMS芯片输出电压进行理论计算以及对其进行模态仿真,得出在高达20 MPa的静水压作用下,传感器的输出灵敏度基本无变化,而且工作频带有所拓宽。测试结果表明:改进封装的纳机电矢量水听器在高压20 MPa时,可以实时获得敲击信号;加压前后,该水听器在20 Hz^1 000 Hz工作频带内水听器的灵敏度和指向性基本一致。

主 题 词：矢量水听器 纳机电 耐压 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 082403[082403] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0824[工学-林业工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2014.05.008

馆 藏 号：203101251...