基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制

作     者：张从鹏 刘强 Zhang Congpeng;Liu Qiang

作者机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院ASM-BUAA运动控制研究中心北京100083 

基　　金：国家自然科学基金重大项目(50390060)资助 

出 版 物：《机械科学与技术》 (Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering)

年 卷 期：2006年第25卷第10期

页      码：1212-1216页

摘      要：精密定位技术是精密工程领域的关键技术,由直线电机驱动的气浮直线导轨工作台在超精密运动领域得到广泛应用。本文介绍了静压气浮导轨的设计方法,开发了止推气浮轴承设计软件;为了提高气浮导轨的承载能力和刚度,总结提出了几种适用于不同结构气浮导轨的预加载技术;运用气浮轴承设计系统和适合的预加载技术,研制了能满足大惯量、高速度、高精度要求的H型直线电机气浮工作台。

主 题 词：气浮导轨 预加载 精密定位 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1003-8728.2006.10.023

馆 藏 号：203101327...