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用光电隔离法提高小电容测量灵敏度问题的研究

用光电隔离法提高小电容测量灵敏度问题的研究

作     者:王维 何小兵 戴冬雪 黄璐 杨雁 WANG Wei;HE Xiao-bing;DAI Dong-xue;HUANG Lu;YANG Yan

作者机构:中国计量科学研究院电学与磁学所北京100013 

出 版 物:《电测与仪表》 (Electrical Measurement & Instrumentation)

年 卷 期:2012年第49卷第S1期

页      码:10-13页

摘      要:中国计量科学研究院保存的国家电容基准(计算电容)作为电容量值溯源体系的源头,承担着非常重要的作用。其扩展不确定度为1×10-7,但由于计算电容值较小,只有0.5pF,因此采用电容电桥测量时信噪比较低,灵敏度约为2×10-8。本文设计一种光电隔离测量方法,配合锁相放大器,可准确读取10-8位,并通过插值办法,可以估读出10-9。使用这种测量方法,可有效提高测量的准确度。

主 题 词:计算电容 信噪比 灵敏度 

学科分类:080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D O I:10.3969/j.issn.1001-1390.2012.z1.004

馆 藏 号:203101715...

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