激光干涉位移测量系统的环境误差补偿

作     者：曲军 张国雄 

作者机构：美国北卡州立大学机械与航空系美国27695 天津大学精密仪器学院天津300072 

出 版 物：《航空发动机》 (Aeroengine)

年 卷 期：2001年第22卷第3期

页      码：43-44,3页

摘      要：激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差。通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差。设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正。

主 题 词：激光干涉测量 空气折射率 实时补偿 零点误差 环境误差 位移测量 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-3147.2001.03.011

馆 藏 号：203101768...