壁面剪应力测量底层隔板数学模型研究

作     者：孙海浪 马炳和 邓进军 马骋宇 

作者机构：西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室西安710072 

基　　金：国家自然科学基金(51105317) 

出 版 物：《航空工程进展》 (Advances in Aeronautical Science and Engineering)

年 卷 期：2012年第3卷第3期

页      码：373-378页

摘      要：为指导器件研发设计和测量工作,提出了一种建立底层隔板壁面剪应力-压差数学模型的方法。通过量纲分析确定壁面剪应力和压差之间关系;结合具体器件,采用CFD方法计算出若干组壁面剪应力、压差的值;通过非线性回归获得该器件的壁面剪应力-压差数学模型。将建立的模型与实测数据进行对比,结果表明:二者能够较好地吻合,证明提出的方法是有效的。并应用该方法设计并加工了一种压阻式微机电系统(MEMS)底层隔板。

主 题 词：底层隔板 壁面剪应力 数学模型 压差 微机电系统 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-8190.2012.03.023

馆 藏 号：203101768...