HL-2M装置真空室预抽气系统的研制

作     者：蔡潇 曹曾 张炜 李瑞鋆 黄勇 CAI Xiao;CAO Zeng;ZHANG Wei;LI Rui-jun;HUANG Yong

作者机构：核工业西南物理研究院四川成都610041 

基　　金：国家重点研发项目:面向ITER壁在线原位清洗和处理的新技术研究(2017YFE0301305) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2021年第58卷第1期

页      码：33-37页

摘      要：通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了预期的预抽真空度。在本底真空度为3.7×10^(-5)Pa的条件下采用静态定容法测试真空室漏放气率,结果显示真空室漏气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于HL-2A真空室预抽时总漏放气率两个量级。试验证明通过合理的抽气机组配置,HL-2M装置真空室满足超高真空技术要求,为将来开展高品质等离子体实验提供了良好的条件。

主 题 词：超高真空 漏气率 流导 有效抽速 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.01.08

馆 藏 号：203101805...