电容式加速度计结构与检测电路的研究

作     者：赵军荣 戴丽霞 刘双峰 Zhao Junrong;Dai Lixia;Liu Shuangfeng

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《电子测试》 (Electronic Test)

年 卷 期：2010年第21卷第10期

页      码：88-92页

摘      要：提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。

主 题 词：电容加速度计 水银 单片机 MS3110 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-8519.2010.10.021

馆 藏 号：203101904...