超高精度定位系统及线性补偿研究

作     者：刘红忠 卢秉恒 丁玉成 李寒松 严乐 

作者机构：西安交通大学机械工程学院西安710049 

基　　金：国家"八六三"计划重点资助项目 (2 0 0 2AA42 0 0 5 0 ) 国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 118) 

出 版 物：《西安交通大学学报》 (Journal of Xi'an Jiaotong University)

年 卷 期：2003年第37卷第3期

页      码：277-281页

摘      要：依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计 ,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算 ,确定了系统的自然频率 ,并由此设计出双伺服环的控制系统 .控制系统由 2根循环滚珠丝杠构成宏定位 ,3个压电驱动器构成微定位 .在系统软件中 ,采用Chebyshev数字滤波器进行去噪 ,使整个定位系统控制在 2 0 0mm的行程中 ,其定位精度达到了 8nm .对于由压电驱动器 (PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差 ,系统采用EMM (ExactModelMatching)控制策略 ,最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低 5倍以上 ,使得正反向运动几乎落在同一曲线内 。

主 题 词：超高精度定位系统 线性补偿 宏定位台 精定位台 双伺服控制 弹性力学 集成电路 压印光刻工艺 

学科分类：080903[080903] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-987X.2003.03.015

馆 藏 号：203101911...