微透镜工艺优化背照CCD器件MTF的研究

作     者：高建威 曲鹏程 张晓琴 龙梅 李琳 GAO Jianwei;QU Pengcheng;ZHANG Xiaoqin;LONG Mei;LI Lin

作者机构：重庆声光电公司第四十四研究所重庆400060 

出 版 物：《电子技术（上海）》 (Electronic Technology)

年 卷 期：2020年第49卷第12期

页      码：6-7页

摘      要：背面微透镜技术可以收束入射光的进入范围,理论上可以有效降低像元间的漏光(smear)以及MTF问题。针对某背照CCD器件进行微透镜设计,并对集成了微透镜技术的器件进行对比测试。结果证明该方法可以有效优化器件MTF值。

主 题 词：背照 MTF 微透镜 CCD 漏光 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203101970...