热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析

作     者：李晓伟 张正元 LI Xiao-wei;ZHANG Zheng-yuan

作者机构：重庆邮电大学重庆400065 模拟集成电路国家级重点实验室重庆400060 中国电子科技集团公司第二十四研究所重庆400060 

基　　金：国家863计划基金资助项目(2008AA04Z302) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2008年第38卷第6期

页      码：761-764页

摘      要：针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场,进而影响传感器的谐振频率这一现象,采用开环测试系统进行试验,得到热激励谐振型压力传感器的热激励幅度与谐振频率的变化规律;并对实验结果进行了进一步的分析,为合理优化设计传感器的相关参数提供了一定的理论依据。

主 题 词：谐振型压力传感器 电热激励 热应力 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203101977...