微米光栅加速度计闭环检测技术优化与设计

作     者：李烁铠 占日新 苏群 刘元斌 LI Shuokai;ZHAN Rixin;SU Qun;LIU Yuanbin

作者机构：中国直升机设计研究所江西景德镇333001 

基　　金：国防基础科研计划资助项目(No.JCKY201601C006) 

出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期：2021年第42卷第1期

页      码：78-83页

摘      要：提出一种基于Pound-Drever-Hall (PDH)调制技术的新型闭环控制方法,优化了微米光栅加速度计的信噪比和静态检测精度。采用电磁驱动实现自校准和反馈控制,相对于静电驱动降低了功耗提升了反馈效率,解决了开环检测方式下测量范围和灵敏度不可兼得的难题。对系统光学输出的干扰源进行本质分析,通过将闭环误差信号调制到高频,以消除光源自身的波动和杂散光干扰。经过相敏检测器(PSD)和解调滤波器后,得到了高信噪比的闭环误差信号。实验结果表明,微米光栅加速度计闭环检测输出的信噪比相对于开环检测提升了21 dB,0.5 g加速度输入下的偏置稳定性达到0.28 mg。

主 题 词：光栅 加速度计 闭环检测 信噪比 偏置稳定性 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.14016/j.cnki.jgzz.2021.01.078

馆 藏 号：203102011...