一种非谐振式MEMS电磁能量收集器

作     者：武绍宽 李孟委 金丽 罗戴钟 Wu Shaokuan;Li Mengwei;Jin Li;Luo Daizhong

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉学科研究院太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61571405 61573323) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2021年第58卷第3期

页      码：214-218,224页

摘      要：介绍了一种新型非谐振式微电子机械系统(MEMS)电磁振动能量采集器的设计、微加工和表征测试。该能量收集器由MEMS结构、线圈、小型化NdFeB磁体和陶瓷基板组成。建立结构模型对结构固有频率、位移和应力进行仿真。利用MEMS技术制备能量收集器结构和Al线圈等关键部件,并结合嵌有永磁体的陶瓷基板进行组装,在组装过程中使用Cu/Sn倒装焊键合技术将陶瓷与芯片互连,成功制备出能量收集器原理样机。利用振动台对样机性能进行测试,测试结果表明,实际加工能量收集器的谐振频率为5241Hz,在1m/s^(2)固定加速度以及7Hz振动频率条件下,经电路100倍放大测得该能量收集器最大输出电压为257mV。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 能量采集器 电磁发电 陶瓷基板 微能源 

学科分类：0808[工学-自动化类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2021.03.005

馆 藏 号：203102364...