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微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统设计及开发

微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统设计及开发

作     者:李玉梅 李刚炎 辜志强 岳思齐 LI Yumei;LI Gangyan;GU Zhiqiang;YUE Siqi

作者机构:湖北工程学院机械工程学院湖北孝感432000 武汉理工大学机电工程学院湖北武汉430070 

基  金:湖北省教育厅科研计划重点项目(D20182703) 

出 版 物:《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期:2021年第49卷第4期

页      码:112-115页

摘      要:为了满足微型晶体谐振器高性能封装需求,综合应用机-电-气一体化设计理念,研发一套微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统。以密封性好、可靠性高为目标,提出了由Z轴按压机构、Y轴提升机构和防掉落保护机构组成的系统结构技术方案;以冲击性小、能耗低为目标,对气动回路进行详细设计,并在回路数学模型、仿真分析基础上,确定气动回路的关键参数;针对系统运动不同步现象,对其运动同步性进行仿真分析,验证气动回路设计合理性。最后样机试验表明系统运行稳定,完全满足系统预期功能需求及关键性能指标。

主 题 词:微型晶体谐振器 出料门系统 运动同步性 

学科分类:0819[工学-海洋工程类] 081903[081903] 08[工学] 

D O I:10.3969/j.issn.1001-3881.2021.04.022

馆 藏 号:203102364...

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