静电力作用下微梁变形分析与计算

作     者：王洪喜 贾建援 樊康旗 WANG Hong-xi;JIA Jian-yuan;FAN Kang-qi

作者机构：西安电子科技大学机电工程学院西安710071 

出 版 物：《机械科学与技术》 (Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering)

年 卷 期：2005年第24卷第4期

页      码：420-422页

摘      要：机电耦合问题是微机电系统结构分析中的重要内容之一,目前多采用有限元方法求解。作为结构分析的有限元方法从精度上来说是令人满意的,但对于结构设计来说计算效率低、费用高。本文在对微梁结构控制方程中的静电力和梁伸长拉力公式进行校正的基础上,给出一种易于实现的不需要求解方程组的数值计算方法,通过计算实例证明,该方法与有限元方法计算的结果误差在2%以内。

主 题 词：微梁 静电力 微机电系统 

学科分类：080804[080804] 080805[080805] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1003-8728.2005.04.013

馆 藏 号：203102400...