脉宽压缩光栅用的多层膜设计和性能分析

作     者：孔伟金 邵建达 张伟丽 方明 范瑞瑛 范正修 Kong Weijin;Shao Jianda;ZHANG Weili;Fang Ming;Fan Ruiying;Fan Zhengxiu

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所 

基　　金：国家自然科学基金(10376040) 国家863计划资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2005年第25卷第5期

页      码：701-706页

摘      要：应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜作为基底,利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成。脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计,另一方面很大程度上取决于作为基底的多层膜的设计。给出了以413.1nm作为写入波长,1053nm作为使用波长的多层介质光栅膜的设计,样品在ZZS-800F型真空镀膜机上采用电子束蒸发方式沉积而成,并给出了膜系结构对光学性能影响因素的详细分析,结果表明膜系H3L(H2L)9H0.5L2.03H满足光栅膜的指标。给出了样品光学特性测试,其使用波长处的透射率90%,测试表明样品满足设计要求且实验结果和理论设计符合得很好。

主 题 词：薄膜光学 膜系设计 性能分析 脉宽压缩 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-2239.2005.05.028

馆 藏 号：203102401...