半导体行业特种气体气源柜研发及应用

作     者：曹文林 Cao Wen-lin

作者机构：江苏新城气体有限公司江苏扬州225200 

出 版 物：《化工设计通讯》 (Chemical Engineering Design Communications)

年 卷 期：2021年第47卷第2期

页      码：27-28页

摘      要：在半导体行业器件生产过程中,气源柜是输送、控制特种气体的重要设备。近年来,随着我国光伏发电、平板显示器、超大规模集成电路等产业的迅速发展,拉动电子气的需求,对气源柜的要求也更高。设计特种气体气源柜的关键,是以保证气源安全使用为基础,提升生产效率,同时为客户提供方便。根据特种气体的性质及使用环境,研发设计特种气体气源柜,使其应用于半导体行业。

主 题 词：半导体行业 特种气体 气源柜 研发 应用 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 

馆 藏 号：203102455...