基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制

作     者：施阳和 张鸿海 汪学方 Shi Yanghe;Zhang Honghai;Wang Xuefang

作者机构：华中科技大学 

基　　金：国家863计划资助项目 编号:2004AA404043 

出 版 物：《中国陶瓷》 (China Ceramics)

年 卷 期：2007年第43卷第8期

页      码：34-35,13页

摘      要：MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的。为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台。这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置。从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础。

主 题 词：微机电系统 压电陶瓷测试 多载荷加载台 设计原理 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2007.08.008

馆 藏 号：203102470...