硅基电子气体的安全生产

作     者：任传宗 武晓闯 郭树虎 赵宇 常欣 赵雄 万烨 Ren Chuan-zong;Wu Xiao-chuang;Guo Shu-hu;Zhao Yu;Chang Xin;Zhao Xiong;Wan Ye

作者机构：洛阳中硅高科技有限公司河南洛阳471023 多晶硅制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 中国恩菲工程技术有限公司北京100038 

基　　金：郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700) 

出 版 物：《化工设计通讯》 (Chemical Engineering Design Communications)

年 卷 期：2021年第47卷第2期

页      码：126-127页

摘      要：硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子气体的生产制备设备及工艺,分析系统不同阶段下的风险隐患,针对性制定有效的管控措施,包括设备安全管控和生产安全管控等。通过各种有效安全管控措施,确保硅基电子气体生产、检测、储存、充装及运输等过程的本质安全。最后展望了硅基电子气体安全生产的发展趋势和方向。

主 题 词：硅基电子气体 隐患 安全管控 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203102479...