极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)

作     者：朱京涛 王占山 王洪昌 张众 王风丽 秦树基 陈玲燕 崔明启 赵屹东 孙丽娟 周洪军 霍同林 ZHU Jing-tao;WANG Zhan-shan;WANG Hong-chang;ZHANG Zhong;WANG Feng-li;QIN Shu-ji;CHEN Ling-yan;CUI Ming-qi;ZHAO Yi-dong;SUN Li-juan;ZHOU Hong-jun;HUO Tong-lin

作者机构：同济大学物理系精密光学工程与技术研究所上海200092 中国科学院高能物理所同步辐射实验室北京100039 中国科技大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 

基　　金：Supported by the National Natural Science Foundation of China (No 60378021 and 10435050) the Programfor New Century Excellent Talents in University (No NCET-04-0376) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2007年第15卷第12期

页      码：1886-1893页

摘      要：研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13 ～19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15 %;在15 ～17 nm波段,获得了37 %的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13 .8 ～15 .5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41 .7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-II的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究。这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量。

主 题 词：偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924x.2007.12.011

馆 藏 号：203102480...