应用修正Stoney公式原位测量硅薄膜电极中的锂化应力

作     者：刘佩琳 陆宇阳 郑东昌 何陵辉 倪勇 Liu Peilin;Lu Yuyang;Zheng Dongchang;He Linghui;Ni Yong

作者机构：中国科学院材料力学行为和设计重点实验室中国科学技术大学近代力学系安徽合肥230027 

基　　金：the National Natural Science Foundation of China(11672285) the Strategic Priority Research Program of the Chinese Academy of Sciences(XDB22040502) China Postdoctoral Science Foundation(2018M642532) the Fundamental Research Funds for the Central Universities(WK2090050046) the Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology the Fundamental Research Funds for the Central Universities 

出 版 物：《中国科学技术大学学报》 (JUSTC)

年 卷 期：2020年第50卷第12期

页      码：1516-1524页

摘      要：结合Stoney公式的多光臂应力测量方法能够有效检测出薄膜电极在充放电过程中的平均应力.然而,经典Stoney公式仅适用于低应力水平的情况.运用修正的Stoney公式考虑了硅电极材料力学性质的变化和基底曲率剧烈变化情况下电极薄膜中应力的演化规律.基于应力和扩散相互耦合的三维非线性有限元模型,验证了修正Stoney公式的准确性.进一步,讨论了曲率分叉出现的条件,确保使用修正的Stoney公式时避免出现曲率分叉行为.

主 题 词：修正Stoney公式 有限元 分叉 应力 塑性 大变形 

学科分类：08[工学] 080104[080104] 0815[工学-矿业类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.0253-2778.2020.12.009

馆 藏 号：203102482...