MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析

作     者：吴志亮 黄新龙 朱继南 张合 WU Zhi-liang;HUANG Xin-long;ZHU Ji-nan;ZHANG He

作者机构：南京理工大学机械工程学院江苏南京210094 中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 

出 版 物：《探测与控制学报》 (Journal of Detection & Control)

年 卷 期：2008年第30卷第5期

页      码：48-51,56页

摘      要：探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考。

主 题 词：MEMS 引信 LIGA 工艺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 082601[082601] 08[工学] 0826[工学-生物医学工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-1194.2008.05.014

馆 藏 号：203102510...