无基底焦平面阵列的红外成像性能分析

作     者：程腾 张青川 陈大鹏 伍小平 史海涛 高杰 Cheng Teng;Zhang Qing-Chuan;Chen Da-Peng;Wu Xiao-Ping;Shi Hai-Tao;Gao Jie

作者机构：中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室合肥230027 中国科学院微电子研究所北京100029 

基　　金：国家自然科学基金仪器专项基金(批准号:10627201) 国家自然科基金重点项目(批准号:10732080) 国家重大基础研究发展计划(批准号:2006CB300404)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2009年第58卷第2期

页      码：852-859页

摘      要：利用提出的光学读出非制冷红外成像系统,先后制作了单元尺寸各不相同的单层膜无基底焦平面阵列(focal plane array,FPA),获得了室温物体的热图像.分析发现,当FPA的单元尺寸从200μm逐渐减小到60μm时,基于恒温基底模型的理论响应与实验结果的偏差逐渐增大.通过有限元分析方法,模拟分析了不同尺寸的微梁单元在无基底FPA中的热学行为,发现了当单元尺寸逐渐减小时恒温基底模型偏差逐渐增大的原因,即无基底FPA的支撑框架不满足恒温基底条件,受热辐射后支撑框架的温升从基底上抬高了单元的温升.论文还分析了无基底FPA的红外成像性能.当单元尺寸为60μm时,其热探测灵敏度比传统的有基底FPA高一个数量级.

主 题 词：光学读出 非制冷红外成像 焦平面阵列 无基底 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.58.852

馆 藏 号：203102517...