大口径光学组件面形检测系统研究

作     者：陈念年 范勇 张劲峰 杨程 张隽楠 程晓峰 徐旭 刘楠 CHEN Nian-nian;FAN Yong;ZHANG Jin-feng;YANG Cheng;ZHANG Jun-nan;CHENG Xiao-feng;XU Xu;LIU Nan

作者机构：西南科技大学计算机科学与技术学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 

基　　金：国家自然科学基金委-中国工程物理研究院NSAF联合基金资助项目(10676029 10776028) 

出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期：2010年第29卷第3期

页      码：13-17,22页

摘      要：利用角差法原理设计了一种集高精度测角仪与五棱镜于一体的面形检测系统,实现了大口径平面镜不同姿态下的面形测试。系统主要由光学系统、三维运动平台、图像处理系统和面形数据绘制与管理等组成,突破常规"以大测大"的高成本检测方法。实验结果表明,水平方向上的均方根误差(RMS)为0.03μm,垂直方向上的RMS为0.07μm,全面形的RMS为0.06μm,能满足检测需要。

主 题 词：面形检测 角差法 五棱镜 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-8829.2010.03.004

馆 藏 号：203102583...