一种离子敏感场效应晶体管的建模策略

作     者：马逸晨 杨正茂 

作者机构：上海电力大学电子与信息工程学院上海201306 

出 版 物：《科技创新与应用》 (Technology Innovation and Application)

年 卷 期：2021年第11卷第11期

页      码：37-39,43页

摘      要：基于半导体仿真软件TCAD设计了一种离子敏感场效应晶体管的模型,首先介绍了离子敏感场效应晶体管的结构及工作原理,其次分析了敏感场效应晶体管在仿真中存在的难题,在此基础上提出了相应的建模方式,最后在TCAD中成功搭建了仿真模型,通过仿真敏感场效应晶体管的灵敏度验证了该模型的准确性,解决了TCAD无法模拟溶液的难题,为离子敏感场效应晶体管的研究开辟了新的道路。

主 题 词：TCAD 离子敏感场效应晶体管 pH传感器 灵敏度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203102586...