半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析

作     者：职远 张丁超 刘俊杰 夏群艳 Zhi Yuan;Zhang Dingchao;Liu Junjie;Xia Qunyan

作者机构：天津大学300072 天津大学环境科学与工程学院300072 深圳市华净科技有限公司 

基　　金：国家重点研发计划项目“洁净空调厂房的节能设计与关键技术设备研究”(编号:2018YFC0705203) 

出 版 物：《暖通空调》 (Heating Ventilating & Air Conditioning)

年 卷 期：2021年第51卷第3期

页      码：46-50页

摘      要：以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果。并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息。测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50%,无法满足规范中70%的要求。而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料。

主 题 词：洁净室 在线监测 污染源分析 气态化学污染物 化学过滤器 

学科分类：07[理学] 070602[070602] 0706[理学-大气科学类] 

馆 藏 号：203102614...