基于半导体纳米线的环形激光器

作     者：李圣昆 赵跃进 Li Shengkun;Zhao Yuejin

作者机构：北京理工大学精密光电测量仪器技术重点实验室北京100081 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2021年第58卷第2期

页      码：102-106,169页

摘      要：针对微光电子机械系统(MOMES)传感器件对微型片上光源的需求与当前半导体纳米线结构制备的进展,设计了一种基于Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米线的激光器。将生长出来的纳米线在纯净水中超声制备均匀分布的悬浊液,再滴至载玻片表面,在显微镜50×物镜下观测得到纳米线呈现稀疏分布,约2~3根,选择尺寸较长的纳米线作为制备环形谐振腔的材料。首先使用355 nm激光激发单根的纳米线,得到半导体纳米线受激发射的以505 nm为中心波长的绿光,半高全宽(FWHM)为20 nm,然后采用光纤探针和微米位移平台操控纳米线,制备了一个半径约10μm的环形谐振腔,并得到其激发光谱,谐振峰的中心位置在521.5 nm处,FWHM为0.19 nm,由此计算得到的品质因子值为2700,制备得到的谐振腔激光器可以满足MOMES器件集成的需要。

主 题 词：微光电子机械系统(MOMES) 半导体纳米线 谐振腔 微型激光器 光致发光 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2021.02.002

馆 藏 号：203102672...