微结构阵列超精密车床快刀伺服装置及试验研究

作     者：关朝亮 刘俊峰 李飞 王贵林 GUAN Chaoliang;LIU Junfeng;LI Fei;WANG Guilin

作者机构：国防科技大学智能科学学院湖南长沙410073 湖南航天环宇通信科技股份有限公司湖南长沙410205 

基　　金：国防基础科研科学挑战专题资助项目(2018006-0202-03/-0102-04) 

出 版 物：《国防科技大学学报》 (Journal of National University of Defense Technology)

年 卷 期：2021年第43卷第2期

页      码：109-116页

摘      要：各种微结构阵列在LED照明、液晶显示、光学仪器等领域得到了广泛的应用,但其结构细微复杂且形状表面质量要求高,其加工工艺技术研究引起了广泛的关注。本文提出压电陶瓷驱动结合柔性铰链作为刀架的快刀伺服装置,建立快刀伺服系统的机电耦合模型,研究各系统参数对系统性能的影响规律,基于有限元仿真对铰链结构参数进行优化;通过激光位移传感器测试刀具输出位移的线性度;利用研制的快刀系统和超精密车床在红铜材质的圆柱面上进行正弦网格微结构加工,加工结果表明所设计的快刀系统能够准确有效地加工出结构复杂的微结构阵列。

主 题 词：快刀伺服装置 微结构阵列 柔性铰链 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11887/j.cn.202102015

馆 藏 号：203102685...