TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定

作     者：张洪响 张晓东 冯冠奇 张冲 曹志强 张淳 孟鹏 洪兰兰 舒众众 粟舜华 李阳 冯清华 周阳强 于龙光 ZHANG Hongxiang;ZHANG Xiaodong;FENG Guanqi;ZHANG Chong;CAO Zhiqiang;ZHANG Chun;MENG Peng;HONG Lanlan;SHU Zhongzhong;SHU Shunhua;LI Yang;FENG Qinghua;ZHOU Yangqiang;YU Longguang

作者机构：蚌埠中光电科技有限公司安徽蚌埠233030 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司安徽蚌埠233030 

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB0303704) 

出 版 物：《玻璃搪瓷与眼镜》 (Glass Enamel & Ophthalmic Optics)

年 卷 期：2021年第49卷第4期

页      码：1-8页

摘      要：介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃缺陷的分析经验。

主 题 词：TFT玻璃基板 缺陷分析 铂铑缺陷 

学科分类：080706[080706] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.13588/j.cnki.g.e.2096-7608.2021.04.001

馆 藏 号：203102740...