MEMS光栅陀螺制造与测试

作     者：郝飞帆 李孟委 王俊强 金丽 HAO Feifan;LI Mengwei;WANG Junqiang;JIN Li

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉学科研究院太原030051 中北大学南通智能光机电研究院江苏南通226000 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61573323、61571405、61804137) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2021年第51卷第2期

页      码：276-280页

摘      要：根据MEMS光栅陀螺工作原理,对陀螺结构仿真,并进行了晶圆级陀螺制造。在ANSYS中建立陀螺结构模型,并进行仿真分析。仿真结果显示,其驱动模态为7 287 Hz,检测模态为7 288 Hz,频差为1 Hz,表明结构有高灵敏度。通过工艺设计,采用溅射、湿法腐蚀、深反应离子刻蚀、阳极键合等工艺成功制造了MEMS光栅陀螺。大气压下搭建的测试系统测得该陀螺的驱动模态为7 675 Hz,检测模态为7 703 Hz,与仿真结果相对误差为5.6%,验证了工艺的可行性。

主 题 词：MEMS光栅陀螺 晶圆级制造 阳极键合 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.200361

馆 藏 号：203103130...