跨尺度精密运动压电平台和快速驱动方法研究

作     者：黄开明 孙承峰 衡扬 孙立宁 钟博文 HUANG Kaiming;SUN Chengfeng;HENG Yang;SUN Lining;ZHONG Bowen

作者机构：苏州大学机电工程学院江苏苏州215000 

基　　金：国家重点研究发展基金资助项目(2018YFB1304900) 国家自然科学基金资助项目(51875378) 江苏省自然科学基金资助项目(BK20181439) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2021年第43卷第2期

页      码：187-191页

摘      要：该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台。该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成,总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm。该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理。为了研究所设计压电平台的驱动性能,制作了样机并建立了实验系统。实验中,驱动频率7 kHz时最大的单步步距为2.67μm,最大速度为22.7 mm/s,最大静态保持力为36 N。实验结果表明,该文设计的平台可快速运动,具有良好的运动性能。

主 题 词：跨尺度 压电平台 结构设计 粘滑驱动 快速 

学科分类：080903[080903] 080801[080801] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2021.02.008

馆 藏 号：203103133...