六氟化钨中杂质含量的测定

作     者：郑秋艳 王少波 李翔宇 庄鸿涛 杨康 方华 周朋云 ZHENG Qiuyan;WANG Shaobo;LI Xiangyu;ZHUANG Hongtao;YANG Kang;FANG Hua;ZHOU Pengyun

作者机构：中国船舶重工集团公司第七一八研究所河北邯郸056027 上海华爱色谱分析技术有限公司上海200437 西南化工研究设计院成都610225 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2013年第31卷第5期

页      码：21-25页

摘      要：介绍了一种利用氦离子化检测器(PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。

主 题 词：氦离子化检测器 傅立叶红外光谱检测器 六氟化钨 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2013.05.005

馆 藏 号：203103259...