金属网栅法布里-珀罗干涉仪测量太赫兹波波长

作     者：蒋呈阅 蔡瑞 刘劲松 王可嘉 汪盛烈 

作者机构：华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室湖北武汉430074 

基　　金：国家自然科学基金(10974063 61177095 60907045) 湖北省重点基金(2010CDA001) 教育部博士点基金(20100142110042) 中央高校基本科研业务费(2010MS041 2011TS001 2012QN094 2012QN097)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2012年第32卷第11期

页      码：152-157页

摘      要：设计并制作了用于测量波长大于150μm(频率低于2THz)的太赫兹波波长的金属网栅法布里-珀罗干涉仪(FPI)。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40μm,线宽不大于10μm的有衬底方形金属网栅,利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅的太赫兹波段光电特性,得到了各组金属网栅在感兴趣频段的反射率和金属网栅FPI的反射精细度,结果表明所制作的金属网栅FPI均可用于测量波长大于150μm的太赫兹波。实验搭建金属网栅FPI扫描测量了212μm的太赫兹波波长,与理论结果吻合。研究了金属网栅FPI对太赫兹波偏振方向的依赖性以及对FPI腔镜平行度的要求,结果表明,方形金属网栅FPI对正入射太赫兹波偏振方向不敏感,而对FPI腔镜平行度很敏感。

主 题 词：光学器件 太赫兹波 金属网栅 法布里-珀罗干涉仪 时域光谱术 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201232.1112009

馆 藏 号：203103292...