相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

作     者：郭方敏 朱守正 魏华征 郑莹 朱荣锦 忻佩胜 朱自强 赖宗声 杨根庆 陆卫 

作者机构：华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室 华东师范大学信息科学技术学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海技术物理所 

基　　金：国家973项目(G1999033105) 国家杰出青年基金(69975409) 

出 版 物：《华东师范大学学报（自然科学版）》 (Journal of East China Normal University(Natural Science))

年 卷 期：2004年第1期

页      码：49-55页

摘      要：MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。

主 题 词：MEMS 毫米波相移器 相位连续可调 传输损耗 插入损耗 启动电压 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-5641.2004.01.008

馆 藏 号：203103299...