利用反射式圆光栅的振镜转角测量

作     者：刘永坤 丁红昌 向阳 吕思航 LIU Yong-kun;DING Hong-chang;XIANG Yang;LU Si-hang

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 长春理工大学机电工程学院吉林长春130022 

基　　金：国家重点研发计划重大科学仪器设备开发(No.2017YFF0105304) 吉林省科技发展计划重点研发项目(No.20200401117GX) 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2021年第14卷第3期

页      码：643-651页

摘      要：为了实现振镜旋转角度的高精度测量,设计了一种利用反射式圆形衍射光栅的角度测量系统,对该系统的测量原理、测量过程、测量精度等进行了相应的设计、仿真与验证。设计与振镜同轴的反射镜,搭配反射式圆光栅以及光敏检测器件,利用反射式圆光栅产生的±1级衍射光干涉,把振镜转角位移量转化为干涉条纹光强的变化,以实现振镜转角的测量。实验结果表明:该测量系统能实现振镜±10°的角度测量,测量精度为10″。实现了振镜旋转角度的高精度测量,并且该装置结构紧凑,满足扫描振镜的小巧化设计需求。

主 题 词：角度测量 反射式圆光栅 振镜转角 衍射光干涉 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.37188/CO.2020-0179

馆 藏 号：203103384...