基于LEDIT的STEP光刻版数据图形自动排版

作     者：黄翔宇 

作者机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所江苏省南京市210016 

出 版 物：《电子技术与软件工程》 (ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING)

年 卷 期：2021年第7期

页      码：86-87页

摘      要：本文通过C++语言对Ledit软件进行二次开发,采用面向对象的编程方法,实现光刻版版图的快速处理与布局的自动排布。通过生产实践,验证了自动排布程序能够有效缩短设计时间、提高设计效率,加速光掩膜制造的生产周期。

主 题 词：光刻板 自动排布 二次开发 C++ 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203103393...