45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究

作     者：李俊 李嘉伟 张鼎博 刘旭 李阔 马天 王伟峰 翟小伟 LI Jun;LI Jiawei;ZHANG Dingbo;LIU Xu;LI Kuo;MA Tian;WANG Weifeng;ZHAI Xiaowei

作者机构：西安科技大学安全科学与工程学院陕西西安710054 中国科学技术大学安徽合肥230026 蚌埠学院电子与电气工程学院安徽蚌埠233030 

基　　金：国家自然科学基金(51974236) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2021年第42卷第3期

页      码：557-564页

摘      要：聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程。该光学镜面由两步加工完成,首先是扫描过程,用来制造粗糙的切割面;然后是抛光过程,用来完成光学表面的光洁处理。加工完成的45°镜面可以准确地与光纤的纤芯对接,避免了外部转向镜组件对接的相关问题。实验测试表明,加工的结构可以通过干涉测量两个垂直轴向的位移值,检测位移测量范围大致为60μm,X和Y方向的均方根绝对测量误差约为1.75‰和1.97‰。该技术有望用于精密零件内表面、血管内壁等检测领域。

主 题 词：物理光学 微加工 聚焦离子束 位移检测 

学科分类：080901[080901] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.5768/JAO202142.0308001

馆 藏 号：203103401...