高精度绝对式差极角位移传感器

作     者：张辉 刘小康 彭凯 蒲红吉 于治成 徐天慧 ZHANG Hui;LIU Xiao-kang;PENG Kai;PU Hong-ji;YU Zhi-cheng;XU Tian-hui

作者机构：成都玖锦科技有限公司四川成都610000 重庆理工大学重庆400054 重庆航天火箭电子技术有限公司重庆400039 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2021年第5期

页      码：27-33页

摘      要：针对传统的大尺寸栅式角位移传感器在实现绝对定位的同时难以兼顾高精度测量的问题,在前期研究基础上设计了基于交变电场的大尺寸绝对式角位移传感器。传感器利用单列式传感结构实现高精度测量,设计内、外圈两圈结构在整周内刚好相差一对极以实现绝对定位。研制的传感器样机内径为100 mm、外径为154 mm,经实验测试并分析,其对极内呈现的二次谐波误差是由传感器不圆度所导致,四次谐波误差是因传感器结构缝宽比设计不合理而形成。为此,通过加长定尺极片、缩短动尺极片以削弱二次谐波误差,并设计缝宽比为1∶1以减小四次误差。优化后的传感器整周测量精度达到5″,对极内测量精度达到±1.5″。

主 题 词：高精度 绝对式 差极结构 角位移传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203103428...