用于物理研究的分子束外延模拟实验装置

作     者：董国胜 侯晓远 丁训民 陈平 张恩善 谢琪 

作者机构：复旦大学表面物理实验室 中国科学院沈阳科学仪器厂 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：1990年第21卷第2期

页      码：95-98页

摘      要：本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。

主 题 词：分子束外延 物理研究 模拟实验装置 在线检测 测试仪器 束源 样品架 物理测试 准备室 应用研究 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.1990.02.005

馆 藏 号：203103440...