基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演

作     者：王贵全 张锦荣 邵毅 郑万祥 唐莹娟 胡中 姜兴平 李彦生 李伟 王乔方 字正华 WANG Guiquan;ZHANG Jinrong;SHAO Yi;ZHENG Wanxiang;TANG Yingjuan;HU Zhong;JIANG Xinping;LI Yansheng;LI Wei;WANG Qiaofang;ZI Zhenghua

作者机构：昆明北方红外技术股份有限公司云南昆明650217 中国人民解放军32228部队福建厦门361000 昆明物理研究所云南昆明650223 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2021年第43卷第5期

页      码：473-477页

摘      要：本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线。应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数。该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对,折射率误差小于1%,厚度误差小于2%。并且将薄膜的光学参数带入透过率理论计算模型,得到的Ge基底类金刚石薄膜透射光谱曲线和实际测试曲线的误差小于2%。该方法只需测量透射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜光学参数,对光学薄膜设计和加工具有重要指导意义。

主 题 词：类金刚石薄膜 透射光谱 薄膜厚度 折射率 消光系数 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070305[070305] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203103448...