提高压力传感器过载响应速度的研究

作     者：李颖 张治国 刘剑 张哲 张娜 郑东明 梁峭 祝永锋 LI Ying;ZHANG Zhi-guo;LIU Jian;ZHANG Zhe;ZHANG Na;ZHENG Dong-ming;LIANG Qiao;ZHU Yong-feng

作者机构：沈阳仪表科学研究院有限公司辽宁沈阳110043 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2014AA042001) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2015年第6期

页      码：14-16,19页

摘      要：介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法,通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构,实现了传感器过载回零响应速度的大幅度提升,解决了传感器设计中一项关键技术难题,使硅电容压力传感器真正达到了实用化程度,满足了工业现场的实际使用要求。

主 题 词：硅电容 传感器 导油槽 响应速度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2015.06.005

馆 藏 号：203103475...