偏振无关多模干涉型1×3光功分器的设计

作     者：汪静丽 皇甫利国 陈鹤鸣 Wang Jingli;Huangfu Liguo;Chen Heming

作者机构：南京邮电大学电子与光学工程学院微电子学院江苏南京210023 南京邮电大学贝尔英才学院江苏南京210023 

基　　金：国家自然科学基金(61571237) 江苏省自然科学基金(BK20151509) 南京邮电大学校级科研基金(NY217047) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2021年第41卷第7期

页      码：87-94页

摘      要：设计具有宽带性能的偏振无关1×3光功分器,采用离子辅助沉积方法调节三明治结构芯层SiNx的折射率,使得正交偏振模的拍长相等而实现偏振无关;梯形多模干涉波导与锥形波导的组合可实现器件宽带宽、低损耗及良好的分光均匀性。运用有限时域差分法进行建模仿真及参数优化,结果表明:器件的多模干涉波导长度仅为13.2μm,附加损耗低于0.07 dB,不均匀度低于0.03 dB,0.5 dB带宽高达255 nm,可覆盖S、C、L、U以及部分E波段,在未来集成光学系统中具有较高的应用价值。

主 题 词：集成光学 多模干涉 偏振无关 三明治结构 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS202141.0713001

馆 藏 号：203103689...