一种新型高精度大气压力传感器的研究

作     者：贺晓雷 迟晓珠 唐胜武 赵佳龙 He Xiaolei;Chi Xiaozhu;Tang Shengwu;Zhao Jialong

作者机构：中国气象局气象探测中心北京100081 中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨150001 

出 版 物：《电子测量技术》 (Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2012年第35卷第6期

页      码：1-4页

摘      要：采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。

主 题 词：高精度 气压传感器 温度补偿 气象 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-7300.2012.06.001

馆 藏 号：203103702...